真空伺服電機是一種集成了交流電機和編碼器的運動控制驅動器，利用伺服放大器控制，能夠..控制速度和位置。其工作原理是：當伺服電機旋轉時，所帶編碼器發出對應的運轉脈沖，通過脈沖數量與編碼器反饋的脈沖數量進行比較，可..控制電機的轉動，實現..的運動控制與定位。

伺服電機系統中的編碼器和驅動電機由工廠化集成制造裝配，其安裝精度可達<0.002mm，同軸精度很高，從而提高了設備的檢測精度。伺服電機的集成性還體現在驅動器不僅集成了編碼器信號的調理整形模塊，還集成了電機的控制模塊，提高了整個檢測裝置的集成化程度，使得整個裝置簡單地分為3個部分：

伺服電機；被測齒輪箱等組成的機械部分、伺服放大器等控制部分；數據采集處理顯示部分。

另外，其編碼器信號除了用于電機的閉環控制外，還可單獨取用，經相關信號處理，可用于齒輪箱傳動精度檢測，實現齒輪箱傳動精度檢測中驅動與檢測信號的一體化。

驅動主動電機轉動，通過被測齒輪箱將動力傳遞給負載電機，并通過該伺服電機加載。集成在兩電機上的編碼器輸出各自轉角信息，反饋到伺服放大器，利用數據采集卡同時從兩個伺服放大器采集編碼器的反饋信號，再由計算機和開發的專用軟件進行數據處理，即可實現齒輪箱傳動誤差的檢測。